发布日期:2025-02-18 07:39 点击次数:151
本站音问,左证天眼查APP数据浮现晶盛机电(300316)新获取一项发明专利授权,专利名为“一种晶片边际抛光安装和抛光要领”,专利苦求号为CN202110148553.1,授权日为2025年2月18日。
专利提要:本发明属于晶片抛光建造畛域,具体触及一种晶片边际抛光安装和抛光要领。包括晶片固定翻转组件,晶片固定翻转组件包括鼓舞直线模组和机座,从动复古座设于机座旁侧,从动复古座上也设有能舞动的复古臂,复古臂与摆臂分设于晶片旋转组件两侧用于复古晶片旋转组件;晶片设于晶片旋转组件上;抛头运行组件包括基座,直线轴承安装板安装在基座上,直线轴承安装板上设有多个直线轴承,每个直线轴承内设有一根导向轴,导向轴的上端与上聚合板固定,下端与下安装板固定;抛头组件通过轴设于下安装板下方。本发明谨防了抛光液的到处飞溅,而况大大裁汰了抛光液的损耗量,最关节的是不会在晶片名义残留有抛光液,处理了晶片名义产生吸附陈迹的问题。
本年以来晶盛机电新获取专利授权19个,较客岁同时减少了40.62%。趋奉公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面进入了6.11亿元,同比增1.92%。
数据来源:天眼查APP
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